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自动椭圆偏振测厚仪

更新时间:2018-05-12

简要描述:

产品特点:仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

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产品详细资料

  • 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。
  • 仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

测量范围薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10偏振器方位角范围0°-180°读取分辨率为0.05°
入射光波长632.8nm偏振器步进角0.014°/步
入射角调节范围20°- 90°精度≤0.05°测量膜厚±0.5nm
光学中心高80mm折射率重复性精度±0.05
测量厚度zui小示值≤1nm仪器测量精度±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)
允许样品尺寸φ10-φ140mm,厚度≤15mm外形尺寸580×390×320(mm)
度盘刻度每格1度主机重量28kg


TPY-2实验主机、电控系统、USB接口、二氧化硅膜样片、配套软件
 
* 计算机及打印机(需另配)

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