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天津拓普椭圆偏振测厚仪

更新时间:2017-09-02

简要描述:

近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,更加精确和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数,如:布儒斯特角法测介质膜的折射率,干涉法测膜厚,其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。

  免费咨询:022-88289916/88289917/88289918

  发邮件给我们:tjtp@tjtp.com

产品特点:

  • 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点;
  • 光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高;
  • 仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件,方便用户使用。

 

规格与主要技术指标:

  • 测量范围:薄膜厚度范围:1nm-300nm;
  • 折射率范围:1-10
  • 测量zui小示值:≤1nm
  • 入射光波长:632.8nm  
  • 光学中心高:80mm
  • 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm    
  • 偏振器方位角范围:0°- 180°读取分辨率为0.05°
  • 测量膜厚和折射率重复性精度分别为:±1nm和±0.01
  • 入射角连续调节范围:20°- 90°精度为0.05°
  • 主机重量:25kg

 

成套性:主机、电控系统、计算软件

外形尺寸:680*390*320mm

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天津市拓普仪器有限公司

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