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天津拓普椭圆偏振测厚仪

简要描述：近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此，更加精确和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数，如：布儒斯特角法测介质膜的折射率，干涉法测膜厚，其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。

  • 产品型号：TPY-1型
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新日期：2024-04-16
  • 访  问  量：2782

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详细介绍

产品特点：

  • 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点；
  • 光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高；
  • 仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件，方便用户使用。

 

规格与主要技术指标：

  • 测量范围：薄膜厚度范围：1nm-300nm；
  • 折射率范围：1-10
  • 测量zui小示值：≤1nm
  • 入射光波长：632.8nm  
  • 光学中心高：80mm
  • 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm    
  • 偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05°
  • 测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±1nm和±0.01
  • 入射角连续调节范围：20°- 90°精度为0.05°
  • 主机重量：25kg

 

成套性：主机、电控系统、计算软件

外形尺寸：680*390*320mm

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