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自动椭圆偏振测厚仪
产品简介：

产品特点：仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。

产品型号：TPY-2型

更新时间：2025-04-29

厂商性质：生产厂家

访 问 量 ：4495

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产品介绍

产品详细资料


  • 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。

  • 仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。


测量范围薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10偏振器方位角范围0°-180°读取分辨率为0.05°
入射光波长632.8nm偏振器步进角0.014°/步
入射角调节范围20°- 90°精度≤0.05°测量膜厚±0.5nm
光学中心高80mm折射率重复性精度±0.05
测量厚度zui小示值≤1nm仪器测量精度±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）
允许样品尺寸φ10-φ140mm，厚度≤15mm外形尺寸580×390×320（mm）
度盘刻度每格1度主机重量28kg



TPY-2实验主机、电控系统、USB接口、二氧化硅膜样片、配套软件

* 计算机及打印机（需另配）



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