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椭圆偏振测厚仪

更新时间:2018-05-14

简要描述:

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,精度高、灵敏度高、方便测量

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产品详细资料

  1. 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,精度高、灵敏度高、方便测量
  2. 光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高
  3. 仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件,方便用户使用
  4. 仪器采用USB接口与电脑连接

测量范围薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10偏振器方位角范围0°- 180°读取分辨率为0.05°
入射光波长632.8nm偏振器步进角0.014°/步
入射角调节范围20°- 90°精度为0.05°测量膜厚±1nm
光学中心高80mm折射率重复性精度±0.01
测量厚度zui小示值≤1nm外形尺寸590×390×290(mm)
允许样品尺寸φ10-φ140mm,厚度≤15mm主机重量25kg


TPY-1实验主机、电控系统、USB接口、二氧化硅膜样片、配套软件

* 计算机及打印机(需另配)

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