光栅光谱仪被广泛应用于颜色测量、化学成份的浓度测量或辐射度学分析、膜厚测量、气体成分分析等领域中。当一束复合光线进入单色仪的入射狭缝,首先由光学准直镜汇聚成平行光,再通过衍射光栅色散为分开的波长(颜色)。利用每个波长离开光栅的角度不同,由聚焦反射镜再成像出射狭缝。通过电脑控制可精确地改变出射波长。
光栅光谱仪的主要特点:
1、设计紧凑、坚固
2、高光通量
3、成像品质的光谱平台
4、多种可更换光栅可选
5、多种狭缝尺寸可选
6、多种光学耦合附件
7、超高的性价比
光栅光谱仪的重要参数:
1、分辨率
光谱仪的分辨率R是分开两条临近谱线能力的度量,根据罗兰判据为:
R=λ/Δλ
光栅光谱仪中有实际意义的定义是测量单个谱线的半高宽(FWHM)。实际上,分辨率依赖于光栅的分辨本领、系统的有效焦长、设定的狭缝宽度、系统的光学像差以及其它参数。
R∝M·F/W
M-光栅线数F-谱仪焦距W-狭缝宽度。
2、色散
光栅光谱仪的色散决定其分开波长的能力。光谱仪的倒线色散可计算得到:沿单色仪的焦平面改变距离χ引起波长λ的变化,即:
Δλ/Δχ=dcosβ/mF
这里d、β、F分别是光栅刻槽的间距、衍射角和系统的有效焦距,m为衍射级次。由方程可见,倒线色散不是常数,它随波长变化。在所用波长范围内,变化可能超过2倍。根据国家标准,在本样本中,用1200l/mm光栅色散的中间值(典型的为435.8nm)时的倒线色散。
3、带宽
带宽是忽略光学像差、衍射、扫描方法、探测器像素宽度、狭缝高度和照明均匀性等,在给定波长,从光谱仪输出的波长宽度。它是倒线色散和狭缝宽度的乘积。例如,单色仪狭缝为0.2mm,光栅倒线色散为2.7nm/mm,则带宽为2.7×0.2=0.54nm。
4、波长精度、重复性和准确度
波长精度是光谱仪确定波长的刻度等级,单位为nm。通常,波长精度随波长变化。
波长重复性是光谱仪返回原波长的能力。这体现了波长驱动机械和整个仪器的稳定性。
波长准确度是光谱仪设定波长与实际波长的差值。每台单色仪都要在很多波长检查波长准确度。
F/#
F/#定义为光谱仪焦距与准直凹面反射镜的直径的比值。光通过效率与F/#的平方成反比,F/#愈小,光通过率愈高。